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0623-1640J1110379/02PECVD、ICP刻蝕機(jī)(側(cè)墻／鉆孔／氧化層刻蝕機(jī)）和ICP

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    2016-06-05
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?項(xiàng)目名稱(chēng)：PECVD、ICP刻蝕機(jī)(側(cè)墻／鉆孔／氧化層刻蝕機(jī)）和ICP刻蝕機(jī)（氯基等離子體刻蝕機(jī)）設(shè)備及服務(wù)采購(gòu)項(xiàng)目
招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào)： *** J ***
招標(biāo)范圍：第二包 （1） ICP刻蝕機(jī)(側(cè)墻／鉆孔／氧化層刻蝕機(jī)） 1臺(tái)備注：適用于100mm（4英寸）SiC功率器件芯片制造 （2）ICP刻蝕機(jī)(側(cè)墻／鉆孔／氧化層刻蝕機(jī)） 1臺(tái) 備注：適用于150mm（6英寸）SiC功率器件芯片制造
招標(biāo)機(jī)構(gòu)：湖 (略)
招標(biāo)人： (略) 中車(chē) (略)
開(kāi)標(biāo)時(shí)間： *** 09:30
公示開(kāi)始時(shí)間： *** 12:39
評(píng)標(biāo)公示截止時(shí)間： *** 23:59
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