填表日期:2025-03-19
京東方華燦光電(廣東)有限公司MicroLED晶圓制造和封裝測(cè)試基 (略) 理系統(tǒng)改造項(xiàng)目 | |||
(略) (略) 三 (略) 987號(hào) | 80 | ||
京東方華燦光電(廣東)有限公司 | 葉青賢 | ||
810 | 810 | ||
2025-03-20 | |||
改建 | |||
原有項(xiàng)目設(shè)置5 (略) (略) 理外延生長(zhǎng)廢氣、酸堿清洗及蝕刻廢氣、SiO2生長(zhǎng)廢氣、光刻、鍵合、巨量等有機(jī)廢氣、 (略) 理站廢氣,經(jīng)改造后,共設(shè)4 (略) 理設(shè)施,其中:外延生長(zhǎng)廢氣由二級(jí)粉塵過(guò)濾、三級(jí)微分吸收塔、一級(jí)水噴淋吸收塔變動(dòng)為經(jīng)MOCVD設(shè)備內(nèi)部粉塵過(guò)濾器、三級(jí)高效換熱 (略) 理后引至排氣筒(JW-FQ-1083-1)排放;酸堿清洗及蝕刻廢氣由酸液噴淋、堿液噴淋變動(dòng)為經(jīng)系統(tǒng)自帶的水洗尾氣設(shè) (略) 理、堿 (略) 理后引至排氣筒(JW-FQ-1083-2)排放;SiO2生 (略) 理后引至排氣筒(JW-FQ-1083-2)排放;新增一套R(shí)TO (略) 理有機(jī)廢氣,增加后,有 (略) 理工藝由次氯酸鈉噴淋、堿液噴淋、干式過(guò)濾、活性炭吸附變 (略) 理過(guò)濾器、沸石固定床吸附、脫附系統(tǒng)、RTO焚燒、活性炭吸附后引至排氣筒(JW-FQ-1083-3)排放; (略) 理 (略) 理工藝由水噴淋、堿液噴淋變動(dòng)為噴淋、除霧箱、活性炭吸附后引至排氣筒(JW-FQ-1083-4)排放。 | |||
無(wú)環(huán)保措施: RTO催化燃燒廢氣直接通過(guò)JW-FQ-1083-3排放至大氣環(huán)境中 | |||
生產(chǎn)廢水 有環(huán)保措施: 水洗尾氣設(shè)備噴淋廢水采取綜 (略) 理系統(tǒng)措施后通過(guò)JW-WS-1083- (略) (略) | |||
有環(huán)保措施: 墻壁隔聲、減振 | |||
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