序號

采購項目名稱

采購需求概況

預算金額

（萬元）

預計采購時間

（填寫到月）

備注

1

原子力顯微鏡（AFM）

1.工作模式：含納米刻蝕、納米操縱、高次諧波成像模式。 2.掃描器指標： X,Y方向的掃描范圍≥ * μm，Z方向≥5μm； 掃描器閉環(huán)噪音：X,Y軸閉環(huán)噪音< * pm； 系統(tǒng)高度噪音(探針接觸樣品表面)< * pm。 3.控制：軟件控制探測激光點位置；軟件控制光電檢測器(PD)自動歸零；軟件自動進針、智能掃描。操作軟件：操作軟件免費升級，操作軟件源代碼開放；A (略) 的信號圖開放。 4.控制器:3個全數字雙頻鎖相放大器。其中2個為工作在 * MHz的雙頻率數字積分鎖相放大器；兩個輸出頻率在 * MHz的雙頻率頻率合成器。頻率范圍從直流到最大 * MHz（9mHz步長）； * 個輸出頻率在 * MHz的雙頻率頻率合成器. 頻率范圍從直流到最大 2MHz（2mHz步長）；控制精度：控制器應至少有 * 個的 * 位和5個 * 位的數模轉換器DAC，8個 * 位和6個 * 位模數轉換器ADC；數字調Q范圍：2KHz- * MHz；數字化信號交換芯片（各1個）： * × * 路、 * × * 路。 5. 導電AFM模式：利用導電針尖實現導電AFM成像和I/V曲線測試。電流測試范圍1pA至 * nA，電流測試精度1pA。此外能夠利用導電的探針夾持器實現PFM測試，能夠在單次掃描同時獲得PFM信號與電流信號，能夠在正常表征樣品PFM疇結構信息的同時獲得樣品導電信息。 6.防震隔音系統(tǒng)：不需要外加防震平臺就能實現原子級的分辨率。 7．光學系統(tǒng)：AFM操作軟件控制光學系統(tǒng)聚焦； 光學分辨率不低于1微米。 8.光電檢測器帶寬：≥7MHz。 9.成像要求：可以在實驗室對具有平整規(guī)則表面的普通樣品做原子級成像； * . 高性 (略) :i7- * 0 * G, 1T+ * G 2G獨顯(支持雙屏)，顯示器1個≥ * 英寸，3K高清，IPS廣視角，窄邊框，低藍光

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