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BG—401A光刻系統(tǒng)中標(biāo)結(jié)果

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    2016-11-18
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基本信息：
申購單主題： BG—401A光刻系統(tǒng)
申購單類型： 競價類
設(shè)備類別： 衛(wèi)生醫(yī)療器械
使用幣種： 人民幣
競價開始時間： *** 16:25
競價結(jié)束時間： *** 16:35 競價已結(jié)束
申購備注：
 
申購設(shè)備詳情：

中標(biāo)供應(yīng)商 設(shè)備名稱 數(shù)量 (略) 商 型號 售后服務(wù) 規(guī)格配置 中標(biāo)單價 中標(biāo)理由
第 (略) BG—401A光刻系統(tǒng) 1 CETC-45 BG—401A光刻系統(tǒng) 三年免費保修，維修工程師3小時響應(yīng)，48 (略) ， (略) 設(shè)備的操作培訓(xùn)。 最大基片尺寸 4英寸，對準(zhǔn)精度±0.5um；曝光方式：真空接觸、硬接觸；軟接觸。采用柱體蠅眼透鏡的多點光源，曝光分辨率不低于1.0um，曝光不均勻性 ±3%；物鏡分離距離可調(diào)范圍28-90mm；采用歐姆龍的可編程控制器，SMC的氣動元件；X、Y的對準(zhǔn)臺采用的雙層十字滑塊導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，θ向采用IKO導(dǎo)軌，采用三點找平機構(gòu)。GKF-411凈化涂膠機，DZF-6020真空烘箱，無油真空泵無油靜音空壓機 *** .0 總價最低原則



聯(lián)系方式： *** 6

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